在材料生產檢測領域中,共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產檢測領域中也具有廣泛的應用。
VT6000中圖儀器工業用激光共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它是基于光學共軛共焦原理,結合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析的精密光學儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。
產品功能
(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
(2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;
(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;
(4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
(5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;
功能特點
1、測量模式多樣
單區域、多區域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇,適應多種現場應用環境;
2、雙重防撞保護功能
Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能,雙重保護;
3、分析功能豐富
3D:表面粗糙度、平整度、孔洞體積、幾何曲面、紋理方向、PSD等分析;
2D:剖面粗糙度、幾何輪廓測量、頻率、孔洞體積、Abbott參數等分析。