- 詳情
產品名:二手光馳OTFC-1300型式:1300
原裝高配OTFC-1300光馳機(年份:2015. 11
日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源
275機械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學膜厚監控儀
XTC/3+6點式水晶傳感器
1.產品參數:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉速10rpm to 30rpm (可變)
光學膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長范圍:350nm to 1100nm 光學膜厚監控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機械泵:排氣系統2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)
2.性能:達到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度高:350
3.設備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4.電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
5.重量約11000kg
東莞市宏誠光學制品有限公司
委托代理：錢云蕾
：/15112732962
傳 真：
地 址：東莞市茶山鎮 黃嶺路62號
原裝高配OTFC-1300光馳機(年份:2015. 11
日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源
275機械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學膜厚監控儀
XTC/3+6點式水晶傳感器
1.產品參數:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉速10rpm to 30rpm (可變)
光學膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長范圍:350nm to 1100nm 光學膜厚監控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機械泵:排氣系統2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)
2.性能:達到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度高:350
3.設備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4.電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
5.重量約11000kg
東莞市宏誠光學制品有限公司
委托代理：錢云蕾
：/15112732962
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地 址：東莞市茶山鎮 黃嶺路62號
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商家檔案
- 東莞市準納光電科技有限公司
- 試用會員第3年
- 會員等級：試用會員
- 企業認證：未認證
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