GWS-全自動硅片外延缺陷檢測設(shè)備
- 單價(¥)
- 1.00
- 品牌
- 無
- 規(guī)格
- GWS
- 庫存
- 100
- 最小起訂量
- ≥1臺
- 發(fā)布日期
- 2024年3月5日
- 聯(lián)系人
- 俞珩
- 手機(jī)號碼
- 16775717571
- 固定電話
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- 詳情
應(yīng)用于300mm硅片外延層的滑移線，背面光暈和劃痕等缺陷檢測。
【外延缺陷檢測】
1.表面檢測---
檢測對象缺陷:結(jié)晶缺陷；
檢測區(qū)域:晶圓全面晶圓外周～50mm范圍內(nèi)任意5mm；
產(chǎn)能:55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
2.背面檢測---
檢測對象缺陷:光斑、劃痕、Edge亮點(diǎn)；
檢測區(qū)域:晶圓全面不含外周3ｍｍ；
產(chǎn)能:55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
【檢測對象】：8~12寸 拋光片&外延片
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測快只需40S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進(jìn)行參數(shù)保存與導(dǎo)出。
【檢測范圍】：邊緣以外區(qū)域。
【外延缺陷檢測】
1.表面檢測---
檢測對象缺陷:結(jié)晶缺陷；
檢測區(qū)域:晶圓全面晶圓外周～50mm范圍內(nèi)任意5mm；
產(chǎn)能:55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
2.背面檢測---
檢測對象缺陷:光斑、劃痕、Edge亮點(diǎn)；
檢測區(qū)域:晶圓全面不含外周3ｍｍ；
產(chǎn)能:55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開關(guān)時間。
【檢測對象】：8~12寸 拋光片&外延片
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測快只需40S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進(jìn)行參數(shù)保存與導(dǎo)出。
【檢測范圍】：邊緣以外區(qū)域。
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