- 詳情
1. 主體：全封閉框架結構，真空室為前開門方式，機柜和主機為一體式機構。采用優質0Cr18Ni9不銹鋼材料（SUS304），箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設置DN100觀察窗口，位于真空腔體門正前方，骨架默認白色（或鋁合金本色），門板為白色，四只腳輪，可固定，可移動。室體、真空機組、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置，能夠防止停水后出現安全隱患。
2. 真空系統：
2.1極限真空度：≤6.63×10－4Pa（空載、經充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。
2.2真空配置：高速直聯旋片泵一臺，抽速大于6L/S，超高分子泵一臺，抽速600L/s。
2.3真空測量：兩路電阻規，一路電離規；對真空室和真空管道分別精確監控，帶數據通訊。
3. 工件架系統：單工位4英寸工件盤，工件盤可加熱至500攝氏度，工件架真空室底部安裝，便于更換基片，轉速3～30rpm。
4. 照明裝置：照明裝置1套。
5. 磁控濺射系統：配置2-3個Φ50mm磁控靶，安裝于真空室頂部，向下濺射成膜。
6.充氣系統：二路分別配置質量流量控制器，分別為0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，準確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S，重復精度±0.2% F.S。
7.循環冷卻水路：配置冷水機組與空壓機。
8.電氣控制系統：采用功能化模塊設計方式，匹配西門子控制單元和MCGS人機界面，實現真空系統的自動控制，基本工作單元的控制，安全報警及故障信息顯示，并通過文字方式提示，軟件的功能和模塊可以根據實際需求進行單列或合并，但不得減少功能。
2. 真空系統：
2.1極限真空度：≤6.63×10－4Pa（空載、經充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。
2.2真空配置：高速直聯旋片泵一臺，抽速大于6L/S，超高分子泵一臺，抽速600L/s。
2.3真空測量：兩路電阻規，一路電離規；對真空室和真空管道分別精確監控，帶數據通訊。
3. 工件架系統：單工位4英寸工件盤，工件盤可加熱至500攝氏度，工件架真空室底部安裝，便于更換基片，轉速3～30rpm。
4. 照明裝置：照明裝置1套。
5. 磁控濺射系統：配置2-3個Φ50mm磁控靶，安裝于真空室頂部，向下濺射成膜。
6.充氣系統：二路分別配置質量流量控制器，分別為0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，準確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S，重復精度±0.2% F.S。
7.循環冷卻水路：配置冷水機組與空壓機。
8.電氣控制系統：采用功能化模塊設計方式，匹配西門子控制單元和MCGS人機界面，實現真空系統的自動控制，基本工作單元的控制，安全報警及故障信息顯示，并通過文字方式提示，軟件的功能和模塊可以根據實際需求進行單列或合并，但不得減少功能。
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