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Dektak150臺階儀由美國維易科公司（Veeco）制造，主要用于薄膜厚度，表面形貌，應力，平整度等精密測量，廣發應用于光學，太陽能，半導體，生命科學，材料科學等領域。測量時利用金剛石探針在樣品表面運動，記錄探針垂直位移，經過一系列信號轉換及處理，終以表面輪廓線形式表現，從而達到測量樣品表面臺階高度，粗糙度等物理參數的目的。
主要參數：探針直徑為2.5 μm，探針壓力為3 mg，測量范圍是10~66500 nm，垂直方向精度為0.1 nm。
主要參數：探針直徑為2.5 μm，探針壓力為3 mg，測量范圍是10~66500 nm，垂直方向精度為0.1 nm。
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